半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
好项目视频背景
该产业化园聚在一起了十余家半导体行业有关系中小行业,设计的日补救工作能力5000吨,要求补救产自多种中小行业的相混化工废污水。伴随各中小行业生产销售工艺技术区别大,化工废污水物质有难易多样化,补救难易较高。
工业废水化学物质及种类
生活污水重点涉及到3个类:高溶液浓硫酸浓度生产的生活污水(光刻胶、成像液等)、含氟生活污水(刻蚀工步)和酸碱性生活污水(清洁工作工步)。特种因素涉及到异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难吸附生产的物,包括氟化物、氯离子等有机感染物。生活污水COD起伏大(500-3000mg/L),氟化物溶液浓硫酸浓度100-500mg/L,氯离子50-150mg/L。
补救方法环节
选择"分级收录+分质办理+分散深层办理"的信息化策略:
单位里面的分为预处里:含氟废污水独立回收利用并预处里
开发区管道工程种类输料设备
基础性缓解池均等化环境质量
有级沥青混凝土奠定清理浮悬物和氢氧化铁
高效能生态学生理物反应器(HBR)进行处理可挥发空气固体废弃物
什么是臭氧催化反应钝化拆解难拆解生物碳物
反渗透装置到设备来脱盐处置
紫外线的线消毒液确认水流稳定
很放置了线上监测数据体系和电脑自动投加药剂体系,预防水的质量振幅。
终结效用
系统软件执行一年来,清理成果保持稳定牢靠。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,化学需氧量<5mg/L,总氮<15mg/L,高于河流Ⅳ类细则,大部分工业废水处理于科技产业园防护林带及放凉塔皮肤补水,工业废水处理率超出30%。去年才能减少最新鲜水运用约五十万吨,为科技产业园企业主最省电费千余万余元。