半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
項目题材
该半导体设备中小型企业建在长三角型国家,注意生孩子8英尺和12英尺晶圆,日排放口量废需水量约2000吨。伴随生孩子生产过程错综复杂,废水里面内含多种类难吸附无机物和天价属铁离子,常用治理的办法无发需求日渐标准化的排放口量标准化。
废水处理工艺成分表及来历
化工化工废污水重点来历于六个关键环节:晶圆打孔化工化工废污水所含很多硅粉和打孔液杂质;化学物质自动化打磨抛光化工化工废污水包含氢氧化铁硅和粉磨粒子;刻蚀清晰化工化工废污水所含氟化物、铜阳离子等巨资属;光刻方法化工化工废污水则所含光阻剂等巧妙污染问题物。水质量特别是COD高(800-1500mg/L)、氟化物密度高(200-400mg/L)、飘浮物多且所含少量巨资属。
处里工艺设计流程图
适用"物理预处里+生物化学处里+深度.处里"的搭配组合加工制作工艺 :
可以调节池营养均衡水质标准的水量
水泥混凝土乳浊液去掉浮动物和氢氧化铁物
化工析出法主要操作氟化物,加药系统钙盐型成氟化钙析出
水解反应硝化作用池增强废液可生物化性
接处氧化的池可降解有机会水大气污染物
渗透性炭气体吸附塔参与深层次加工处理
膜剥离 系统化确保出水出水饮用水质增强
专门针对含铜化工废水单独的設置阴离子调换系统化,收购有價值的五金铜。
最终能够成效
工作完工后运营可靠,喷水COD<50mg/L,氟化物浓硫酸浓度值<5mg/L,铜阴离子浓硫酸浓度值<0.3mg/L,那项公式均相较于的国家《智能电子产业水严重空气污染物废气细则》(GB 39731-2020)。次年可降低COD废气约300吨,氟化物废气约50吨,回收公司铜彩石约2吨,保持了自然环境经济社会竞争力与经济社会经济社会竞争力的共赢。