该厂为84英寸晶圆出产线配套设施的超蒸馏水操作系统，每天都在带来含硅焦化废水150吨。焦化废水面虽无天价属，但硅浓度高易水垢，且热敏电阻率需高达18MΩ·cm才会回收利用。原先的外理工学院艺始终无法充分考虑新出台的《电子为了满足电子时代发展的需求，行业水废弃物物产生标》（GB39731-2020）尤其产生最大限度。 废水处理的成分共同点 首要被污染的物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、顆粒硅（粒级0.1-1μm） 非常规规范 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 水质监测特征参数 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅有机化合物底部形态复杂的 进行处理的工艺步骤流程 去创新采取"梯级膜分离处理+电去化合物"组合构成生产技术： 微滤归一化处理 ：1μm工业陶瓷膜阻止大粉末硅，通量提升80LMH 铁离子互转硅橡胶 ：D201大孔硅橡胶取舍性溶解硅酸氧分子 五级RO软件 ：一是段收售率60%，二段采取高脱硼膜元器件 EDI电去铁离子 ：交流电体积2A/m²，连续彻底清除残余物铝离子 太阳光的紫外线臭氧消毒 ：254nm紫外光线用药量40mJ/cm² 高技术特点 开发设计特用阻硅剂（生产胺类软型物），延长膜的污染周期性3倍 EDI引擎研发流道装修设计，硅去掉率增强至99.8% 线硅具体分析仪器（测定时间范围0.1-500μg/L）达到准确操作 工作初步成效 经其次方判断： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含量的从8μg/L减少为0.3μg/L 系統利用率从原40%提拔至68% 膜进行更换周期时间缩短至5年，年程序运行制造费拉低35%