某半导体设备厂在生产加工进程中实用氰化钠系显影液液，形成高盐浓度含NOx废液，日治疗量50吨。废液中含NO2-敢达2000mg/L，且具有刺激性少量有机的光刻胶物质，治疗一定难度太大。 2. 废水处理工艺含量及来自 定影多种工序残液（注意被工业废气） 晶圆拆洗废液 废气排放清洗塔室外排水 3. 整理加工过程具体步骤 主要包括"高层钝化+二级生物技术处理"什么是创新的工艺： 臭氧老化防氧化 ：用活性氧引发器引发O3，将难溶解有机肥料物分析为小氧分子有害物质，同时将NO2-氧化物为NO3-。 生物体膜发生物反应器（MBR） ： 第一名级：缺氧症状生态下加药甲醇作碳源，推进反活性污泥作用 第二名级：好氧生态学膜进那步化学降解充分物 光电催化反应强度治理 ：用钛基涂膜参比电极，依据电解设备功效撤底被分解转换成稳定度破坏物。 4. 不可能效用 NOx总氮减至8mg/L以上 COD可靠在30mg/L左右 废水处理方法中水回用率达60% 体系正常运作能耗设定在3.5kWh/吨水，较传统化加工制作工艺 节省20%。