半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
活动游戏 背景
该工业各个企业主为国际专业的半导体材料公测工业各个企业主,座落在广州深圳型东南部,通常来进行顶级基带芯片的划区和装封测验。基于当地的节能环保特殊要求要从严,工业各个企业主直接决定施行废污水零减排工作。大型项目于202五年开机,202五年6月成立 投建,治疗产值为200吨/日,总项目投资约2000亿元。
焦化废水含量及收入
某项需求片区废渣有着如下优势特点:
高溶度氟化物,大部分是来自于晶圆水刀切割后的刷洗工艺流程,氟铝离子溶度万代高达150-200mg/L
具有纳米级级硅粉颗粒状,粒度多在100-500nm相互间
有机会加热器端差较高,COD在500-800mg/L
所含少量巨资属如铅、镉等
导电率高,常在2000-3000μS/cm
处理技艺方案
为实行无废气排放口梦想,加工过程制定比较偏重满足废水处理方法类型收藏和信息收回:
废水处理分级获取软件系统
:将含氟废渣与另一废渣分开用收藏
化学工业沉淀物除氟
:主要包括多级钙盐沉积法,相互配合高效能沉积池
高端氧化物工作
:臭氧老化崔化腐蚀吸附难处理设计物
膜沉淀平台
:按照DTRO碟管式ro反渗透到,浓缩液公倍数为10倍
挥发成果
:MVR设备水蒸气再压解汽化器整理浓水
干燥的系統
:将晶粒盐缺水后作为一个企业副类产品外售
治理的效果
体统操作数据源体现:
氟化物消除率>99.9%,出水量氟阳离子<1mg/L
COD总我们要除率>98%,溢水COD<20mg/L
有限水源共享回收并率>95%,仅带来多量沉淀盐
每次可的回收利用高品行使用水约6万吨
晶体盐色度达到了工业企业级的标准,确保市场化运用
工程项目一方面达成了生产废水零直接排放,还借助教育废物回收并创建了约80万块人民币/年的30%报酬率。