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半导体含氟废水处理案例|半导体含氟废水处理方法

活动背静 该半导体器件制作业商家设在苏北国家,其主要生产方式融合电源线路心片,日废气直接排放含氟污水约800吨。在当地城市干净标准规定提高了,原本有解决配制不可达到氟化物废气直接排放有机废气浓度压低5mg/L的新标准要求,商家注资1700万元再建专业技术含氟污水解决装置。 污水化学物质及来历 化工废水注意来历于基带芯片创造过程中中的刻蚀工艺程序和进行维护清洁工艺程序,注意影响物主要包括: 氟阴离子溶度:300-800mg/L pH值:2- 包含极富硅酸盐、磷酸 轻微血本属如铜、镍等 解决的制作流程步骤 用于"预工作+无机化学凝固+长度工作"搭配组合加工过程: 调控池:平均水源蓄水量,设制pH同屏在线评估 特一级表现池:加药氢氧化物钙,有效控制pH至7-8,变成氟化钙凝固 一級水解池:水解剥离氟化钙活性污泥 2级现象池:污泥脱水氯化钙和缩聚氯化铝,进三步清掉残留物氟阴阳离子 两级滤渣池:第二次滤渣隔离 砂滤软件:彻底清除悬浮物物 亲水性炭吸附物:除去生产物和轻微天价属 生活污水净化处理整体:板框压滤脱干,生活污水含水量率降落到60%以上 然后成效 机系统电脑运行安稳后,溢水地表水: 氟正离子溶液浓度:2.1-3.8mg/L pH值:6.5-7. SS<5mg/L 高价属量均压低检测限 全足够《自动化化学工业水废弃物物摆放量标准单位》(GB39731-2020)标准,第二年变少氟化物摆放量约180吨。

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